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          托马斯·肯尼

          托马斯·肯尼

          博士,加州大学伯克利分校,物理(1989)

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          (650)725-9210
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          肯尼的研究小组正在研究的基本问题和微机械结构的应用程序。这些装置通常由使用集成电路制造工具的硅晶片制造。使用这些技术,该组构建灵敏的加速度计,红外探测器,和力感测悬臂。此研究有许多应用,包括集成的包装,惯性导航,基本力的测量,对生物分子的实验中,设备冷却,生物分析仪器,和小机器人。因为这一研究领域的多学科性质,这组作品的特点是与其他部门的大力合作,以及与当地产业。

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